半導體特性決定其製造過程必須有潔淨度要求,環境中雜質對半導體的特性有著改變或破壞其性能的作用,所以在半導體器件生產過程中對什麽都必須嚴格控製,雜質各式各樣,如金屬離子會破壞半導體器件的導電性能,灰塵粒子破壞半導體器件的表麵結構等。半導體、電子無塵潔淨廠房有其特殊施工要求,下麵東莞市合景實業發展有限公司-合景妖精视频在线免费观看工程公司就其特點作些經驗交流。
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首先了解下半導體器件生產環境要求,其生產條件除了要求恒溫恒濕外,對生產環境潔淨度要求很嚴,按單位體積重規定的塵埃粒子數標準分成潔淨度的等級。一般分為:10級、100級、1000級、10000級、100000級,國際標準ioses14644-1、國標GB50073-2013、美聯邦標準中均有規定潔淨室和潔淨區內空氣以大於或等於被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。
電子產品性能、質量的提高和生產過程的微細化,日益要求生產環境具有一定的空氣潔淨度級別和控製妖精视频在线免费观看車間內工藝生產所需的各類高純物質的供給質量,目前國內外還沒有統一電子產品的空氣潔淨度等級或生產環境控製要求的統一規定,各種電子產品的生產廠家依據其生產的產品品種、所采用的生產工藝技術、生產工藝設備、生產用原輔料以及妖精视频在线免费观看車間運行的實踐經驗確定設計建造妖精视频在线免费观看車間的空氣潔淨度級別等級(如下表格)。
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這個表格是妖精动漫免费登录入口半導體製造一些工藝生產過程的潔淨等級要求,要求一般的是光照製造,還有微環境,其他的一些大的區域,包括薄膜等在百級。潔淨度的要求是不是越高越好,這個主要還是決定妖精动漫免费登录入口的設計,或者對生產的要求,潔淨度越高意味著FFU覆蓋率會成倍的增加。目前對一些潔淨室的設計還是大環境,不需要很高的潔淨度。還有濕度控製,濕度控製主要通過循環通氣冷卻係統,去除潔淨室循環空氣的顯熱,最終控製潔淨室溫度。濕度控製主要通過新風控製箱進行控製,溫度的控製目的有兩個,首先是人員的舒適性,溫度在21-23度都沒有問題,作為製程來說妖精动漫免费登录入口關注的是波動性。控製潔淨房的濕度主要目的是濕度過低將容易產生靜電、濕度過高,對產品的影響。第二點是正壓,通過潔淨室內的壓力傳感器控製MAU風機的頻率改變送風量保持潔淨室的設定正壓,靜壓層保持微正壓。
再來就是照度和噪聲,這個部分在新的標準裏麵有詳細的描述,這裏不具體講了。因為現在半導體製造設備尺寸越來越大,安裝起來一部分照明會被遮掩,噪聲的問題比較難解決,主要在設備選型的時候注意。接下來是靜電控製的問題(ESD),這個本身會造成產品的損害或者設備的損害,半導體有ESD的標準。
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那麽接下來繼續看電子潔淨廠房五大特點:
1、造價貴
隨著半導體產業的發展,對於工廠的品質要求越來越高,TFT工廠也是一樣。TFT工廠本身的玻璃基板的尺寸越來越大,從原來的一代線到現在的主流八代線,隨著基本尺寸越大,造價越來越高。
2、工期短
由於半導體工廠,電子工廠的特點是投資大,所以建設方需要盡快進行生產,取得投資回報。作為施工單位,擺在麵前的一個問題,就是工期要求非常緊。
3、品質要求高
由於電子工廠對廠房環境的依賴程度非常高,建廠當中的事故直接導致產品良品率的降低。
4、高複雜度
對於建廠來講,專業技術涵蓋了多專業、多行業的問題,同時還有管理的問題。
5、高整合度
對於建廠來講,需要各方麵各項目的高度整合力。
做一個這樣的電子無塵潔淨廠房的關鍵難點和注意事項有哪些呢?
山東妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看工程有限公司的業務範圍包括室內環境係統整體規劃設計、安裝、10級到30萬級潔淨係統工程、中央空調係統工程、 恒溫恒濕係統及自控工程、防靜電係統工程設備動力、照明配電係統設計安裝;無塵室、無塵車間、環氧樹脂自流坪、防靜電PVC地板、高架地板工程;壓縮空氣、超純氣體、真空、純水等工藝管道的設計安裝;辦公裝修裝飾工程等等。
關鍵難點:
1.大麵積精度控製
產業的發展,是往大,往精細化發展。如何進行精度的保證,這對於妖精动漫免费登录入口實施項目來講,也是高難度的方麵。妖精动漫免费登录入口的做法是配置專業的測量人員,在大麵積的情況下把精度控製在實施的要求範圍之內。
2.全過程潔淨施工控製
潔淨廠房相對其他廠房一個最大的特點就是潔淨的管控,潔淨的管控從建廠一開始到最後是全過程的控製,隻有透過全過程的控製才能保證建出來的廠房是合格的廠房。
3.高空作業
這是非常明顯的工作特點,對於妖精动漫免费登录入口來講安全角度、整個施工的難度都非常大,妖精动漫免费登录入口采取分層作業的施工方式,妖精动漫免费登录入口先把地板層做起來,這樣以地板層為界麵分為上下兩個層麵進行施工。
注意事項:
1.半導體潔淨車間內部要確保粉塵隻出不進,因此潔淨車間室內要保持大於大氣壓的環境,這就需要用大型鼓風機將經妖精视频在线免费观看設備的空氣源源輸入潔淨車間中。
2.為保持恒溫恒濕,大型空調設備須搭配前麵的鼓風加壓係統使用。鼓風機加壓多久,空調就得開多久。
3.所有經妖精视频在线免费观看設備的空氣流動方向均由上往下為主,因此潔淨車間室內空間設計或機台擺放應避免突兀,使塵埃細菌等在潔淨車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。
4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。
5.所有人或事物進出潔淨車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經過風淋室吹淋以將表麵粉塵先行除掉。
6.半導體潔淨車間內水的使用隻限用去離子水。一是防止水中粉粒汙染晶圓,二是防止水中重金屬離子汙染金氧半晶體管結構的帶電載子信道,影響半導體組件的工作特性。去離子水是 的溶劑與清潔劑,在半導體工業的使用量非常驚人。
7.半導體潔淨車間用到的氣源,包括吹幹晶圓和機台空壓所需要的,都需要使用98%氮氣,吹幹晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
上麵的工作主要是完成風管的安裝,支架的安裝等。下麵的工作主要是工業管線的作業,這樣的做法是目前做大麵積廠房主流的施工方式,這個施工方式證明也是非常成功的,可以有效的解決安全問題。